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SuperViewW白光干涉技術(shù)光學(xué)3D輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

中圖儀器4nm空間分辨率掃描電鏡具有出色的電子光學(xué)系統(tǒng)，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測(cè)需求。

NS系列薄膜臺(tái)階測(cè)量?jī)x能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

中圖儀器CEM3000系列國(guó)產(chǎn)掃描顯微電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高。臺(tái)式電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。

VT6000微米級(jí)粗糙度共聚焦顯微鏡結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。

CEM3000系列SEM掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高。臺(tái)式電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。