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SJ6000國產激光干涉儀產品采用進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,實現各種參數的高精度測量
中圖儀器激光干涉儀采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,實現各種參數的高精度測量。
SJ6000機床激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,實現各種參數的高精度測量
PLR3000系列系統級精度激光尺以激光干涉核心技術+硬核數據支撐,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域廣泛應用。
中圖儀器GTS坐標測量激光跟蹤儀以μm級精度+百米級測量范圍的核心優勢,整合多元技術與智能方案,解決大尺寸工件測量精度不足、復雜特征檢測難、裝配效率低、多環境適配差等測量痛點。為超大型工件、工業母機、大型科學裝置等場景提供全域高精度測量解決方案。
PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域,提供精準、可靠的位置反饋與控制。
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