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PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環(huán)境復(fù)雜的場景。比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個原子直徑！） PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實現(xiàn)納米級位置控制精度。

PLR3000納米級精度激光尺測量儀是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。

中圖儀器PLR3000高精準(zhǔn)度激光尺品牌0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

0.2ppm線性測量精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。

PLR3000納米級高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點。同時提供多種干涉探頭配置 ，用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。

PLR3000超高精度位置檢測光纖激光尺0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。